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激光干涉儀與白光干涉儀區別!
發布者:admin 發布時間:2020/2/21 閱讀:226

經常有客戶來電,說要咨詢干涉儀,看到中圖儀器有激光干涉儀和白光干涉儀,不知道哪一款可以滿足自己的需求?激光干涉儀和白光干涉儀雖然都同屬于干涉儀這個大類,但是兩者的區別可大了!

激光干涉儀

激光干涉儀測量利用的是邁克爾遜干涉原理:

(1) 從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束(圓偏振光)通過分光鏡后,將分成兩束激光(線偏振光);

(2) 兩束激光分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線條)返回,通過分光鏡后進行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定,即滿足干涉條件;

(3) 角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離,將會產生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。

根據激光干涉儀的原理,我們可以清楚知道,激光干涉儀是用來檢測設備的運動精度的,SJ6000激光干涉儀目前在機床、直線電機、滑臺、模組、自動化設備、機器人等領域廣泛應用。

白光干涉儀

白光干涉儀以白光干涉技術為原理,光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束,一束經被測表面反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的。SuperView W1白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。


 
 

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